SYNTHESES IN A LOW-POWER MICROWAVE-DISCHARGE .2. AMORPHOUS-SILICON NITRIDE AND POLYCRYSTALLINE SILICON

被引：3

作者：

JEFFERS, PM ^{[1
]}

BAUER, SH ^{[1
]}

机构：

[1] CORNELL UNIV,DEPT CHEM,ITHACA,NY 14853

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(83)90421-0

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：189 / 193

页数：5

共 6 条

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