ELLIPSOMETRIC METHOD FOR SEPARATE MEASUREMENTS OF N AND D OF A TRANSPARENT FILM

被引：8

作者：

YAMAGUCHI, T ^{[1
]}

TAKAHASHI, H ^{[1
]}

机构：

[1] SHIZUOKA UNIV,RES INST ELECTR,HAMAMATSU 432,JAPAN

来源：

APPLIED OPTICS | 1975年 / 14卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.14.002010

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：2010 / 2015

页数：6

共 8 条

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