ATOM PROBE ANALYSIS OF RANDOM IMAGE SPOTS CAUSED BY RESIDUAL GAS ADSORPTION

被引:1
作者
KINOSHITA, K [1 ]
NAKAMURA, S [1 ]
KURODA, T [1 ]
机构
[1] OSAKA UNIV,INST SCI & IND RES,OSAKA,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.14.2083
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2083 / 2084
页数:2
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