COMPUTING THE PROFILE OF THIN-FILMS DEPOSITED BY VACUUM EVAPORATION FROM CYLINDRICAL CRUCIBLES

被引：7

作者：

TALALAEFF, G

机构：

[1] CNET, Lannion, Fr, CNET, Lannion, Fr

来源：

THIN SOLID FILMS | 1987年 / 150卷 / 2-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(87)90109-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

24

引用

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页码：369 / 391

页数：23

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共 4 条

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