EFFECT OF A THIN SILVER SUBLAYER ON THE GROWTH OF ANTIMONY FILMS DEPOSITED IN VACUUM OF 10-5 PA

被引：6

作者：

HASHIMOTO, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(86)90048-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：61 / 66

页数：6

共 9 条

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