CANYON LITHOGRAPHY

被引：14

作者：

DOLAN, GJ

FULTON, TA

机构：

来源：

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS | 1983年 / 4卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1983.25696

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：178 / 180

页数：3

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BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL, 1979, 58 (05) :1027-1036