USE OF A SILICON CARBIDE POROUS PLUG FOR CONTROL OF GAS FLOW INTO A VACUUM SYSTEM DOWN TO 1 MU1 TORR SEC -1

被引:30
作者
CHRISTIAN, RG
LECK, JH
机构
来源
JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1966年 / 43卷 / 04期
关键词
D O I
10.1088/0950-7671/43/4/305
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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共 4 条
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