STEP-AND-SCAN LITHOGRAPHY USING REDUCTION OPTICS

被引：16

作者：

BUCKLEY, JD

GALBURT, DN

KARATZAS, C

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584499

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1607 / 1612

页数：6

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共 4 条

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