VACUUM-DEPOSITED THIN-FILM THERMOCOUPLES FOR ACCURATE MEASUREMENT OF SUBSTRATE SURFACE TEMPERATURE

被引:7
作者
BULLIS, LH
机构
来源
JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1963年 / 40卷 / 12期
关键词
D O I
10.1088/0950-7671/40/12/420
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:592 / &
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