CRUCIBLE TYPE EVAPORATION SOURCE FOR ALUMINUM

被引：8

作者：

AMES, I

KAPLAN, LH

ROLAND, PA

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1966年 / 37卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1720104

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1737 / &

相关论文

共 2 条

[1] HOLLAND L, 1956, VACUUM DEPOSITION TH, P169
[2] HOLLAND L, 1956, VACUUM DEPOSITION TH, P129