OPTICAL-PROPERTIES, BAND-GAP, AND SURFACE-ROUGHNESS OF SI3N4

被引：95

作者：

BAUER, J ^{[1
]}

机构：

[1] TECH HSCH ILMENAU,SEKT GERATETECH,ILMENAU,BUNDES REPUBLIK

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1977年 / 39卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210390205

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：411 / 418

页数：8

共 27 条

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