ANALYSIS OF METAL-IN-GAP HEADS

被引：22

作者：

RUIGROK, JJM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TMAG.1984.1063256

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：872 / 874

页数：3

共 6 条

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