ENERGY-DISTRIBUTIONS OF ELECTRONS IN ELECTRON-BEAM-PRODUCED NITROGEN PLASMAS

被引:32
作者
SUHRE, DR [1 ]
VERDEYEN, JT [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT ELECT ENGN,GASEOUS ELECTR LAB,URBANA,IL 61801
基金
美国国家科学基金会;
关键词
D O I
10.1063/1.322417
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:4484 / 4488
页数:5
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