GRAIN-BOUNDARY DIFFUSION IN POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS ON SIO2

被引:10
作者
BAUMGART, H
LEAMY, HJ
CELLER, GK
TRIMBLE, LE
机构
来源
JOURNAL DE PHYSIQUE | 1982年 / 43卷 / NC1期
关键词
D O I
10.1051/jphyscol:1982148
中图分类号
学科分类号
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页数:6
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