CLEANING OF GAAS-SURFACES WITH LOW-DAMAGE EFFECTS USING ION-BEAM MILLING

被引：4

作者：

LINDSTROM, C

TIHANYI, P

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1983年 / 30卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1983.21194

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页码：711 / 712

页数：2

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共 7 条

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