AN AXIAL-EMISSION MAGNETRON IONIZATION GAUGE

被引：10

作者：

CHEN, JZ

SUEN, CD

KUO, YH

机构：

[1] SHANGHAI ELECT TOOL INST,SHANGHAI,PEOPLES R CHINA

[2] PEKING UNIV,DEPT PHYS,BEIJING,PEOPLES R CHINA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.573187

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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