GIGABIT LOGIC BIPOLAR TECHNOLOGY - ADVANCED SUPER SELF-ALIGNED PROCESS TECHNOLOGY

被引:86
作者
SAKAI, T
KONAKA, S
KOBAYASHI, Y
SUZUKI, M
KAWAI, Y
机构
关键词
D O I
10.1049/el:19830198
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:283 / 284
页数:2
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共 3 条
  • [1] SAKAI T, 1980, 12TH P C SOL STAT DE, P67
  • [2] TANG DD, 1982, FEB P ISSCC SAN FRAN, P242
  • [3] YAMAMOTO H, 1981, S VLSI TECHNOLOGY, P38