ADHESION OF THIN-FILMS

被引:122
作者
WEAVER, C [1 ]
机构
[1] UNIV STRATHCLYDE, DEPT ELECT ENGN, GLASGOW, SCOTLAND
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.568754
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页数:8
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