A HIGH THROUGHPUT METAL-ION IMPLANTER END STATION

被引：2

作者：

ARMINI, AJ

BUNKER, SN

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90636-6

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：214 / 218

页数：5

共 7 条

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