REACTIVELY SPUTTERED TITANIUM CARBIDE THIN-FILMS - PREPARATION AND PROPERTIES

被引：26

作者：

EIZENBERG, M ^{[1
]}

MURARKA, SP ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.332478

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3190 / 3194

页数：5

共 11 条

[1]

[Anonymous], 1978, HDB BINARY PHASE DIA

[2]

Chopra K.L, 1969, THIN FILM PHENOMENA

EIZENBERG, M ;

MURARKA, SP ;

HEIMANN, PA .

[4]

MAISSEL LI, 1972, HDB THIN FILM TECHNO, P13

[5] DIFFUSION BARRIERS IN THIN-FILMS [J].

NICOLET, MA .

[6]

PEARSON WB, 1958, HDB LATTICE SPACINGS, P949

[7]

PEARSON WB, 1967, HDB LATTICE SPACINGS, V2, P1388

[8]

Samsonov G.V., 1980, HDB REFRACTORY COMPO

[9]

SCHUTZ RJ, UNPUB

[10]

STAROV V, UNPUB