COMPARISON OF MEASUREMENT OF BEAM-CURRENT DENSITIES IN AN ELECTRON-MICROSCOPE USING A FARADAY CUP AND SOLID-STATE DETECTOR

被引：6

作者：

HOWITT, DG

THOMAS, G

TOUTOLMIN, W

机构：

[1] UNIV CALIF LAWRENCE BERKELEY LAB,COLL ENGN,DEPT MAT SCI & ENGN,BERKELEY,CA 94720

[2] UNIV CALIF LAWRENCE BERKELEY LAB,DIV MAT & MOLEC RES,BERKELEY,CA 94720

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.322795

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1694 / 1696

页数：3