1 MV ROTATING-DISK TYPE HIGH-VOLTAGE GENERATOR FOR APPLICATION TO AN IMPLANTER

被引：9

作者：

ISOYA, A ^{[1
]}

MIYAKE, Y ^{[1
]}

TAKAGI, K ^{[1
]}

UCHIYAMA, T ^{[1
]}

YUI, K ^{[1
]}

KIKUCHI, R ^{[1
]}

KOMIYA, S ^{[1
]}

HAYASHI, C ^{[1
]}

机构：

[1] ULVAC CORP,DIV RES & DEV,KANAGAWA 253,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(85)90642-1

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：8