IN-LENS DEFLECTION SYSTEM WITH NONEQUISECTORED-TYPE MULTIPOLE ELECTROSTATIC DEFLECTORS

被引：8

作者：

GOTO, E ^{[1
]}

SOMA, T ^{[1
]}

IDESAWA, M ^{[1
]}

SASAKI, T ^{[1
]}

GOTO, T ^{[1
]}

KONNO, S ^{[1
]}

SOMEYA, T ^{[1
]}

TANAKA, K ^{[1
]}

MIYAUCHI, S ^{[1
]}

机构：

[1] JEOL LTD,TOKYO 196,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1983年 / 1卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.582731

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1289 / 1292

页数：4