REMOVAL OF GAS-PHASE IONS BY ENERGY SELECTION OF SECONDARY IONS

被引:9
作者
NAKAMURA, K
TAMURA, H
KONDO, T
机构
[1] HITACHI LTD,NAKA WORKS,KATSUTA,IBARAKI,JAPAN
[2] HITACHI LTD,NAKA BRANCH,CENT RES LAB,KATSUTA,IBARAKI,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.13.917
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:917 / 918
页数:2
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