A PRECISION-MEASUREMENT TECHNIQUE FOR RESIDUAL POLARIZATION IN INTEGRATED-CIRCUIT CAPACITORS

被引:4
作者
LEE, HS [1 ]
HODGES, DA [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF BERKELEY,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
关键词
D O I
10.1109/EDL.1984.25969
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页数:4
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共 7 条
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