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ANNEALING EFFECTS ON AL AND AL-SI CONTACTS WITH 3C-SIC
被引：18
作者：
DAIMON, H
YAMANAKA, M
SAKUMA, E
MISAWA, S
YOSHIDA, S
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1986年
/
25卷
/
07期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.25.L592
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L592 / L594
页数：3
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