ROTATING POWDER TARGET FOR ION-IMPLANTATION

被引：9

作者：

VONWIMMERSPERG, U

PRINS, JF

DERRY, TE

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1982年 / 197卷 / 2-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0167-5087(82)90360-X

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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