ENHANCEMENT OF THE SPUTTERING YIELD OF PYROLYTIC-GRAPHITE AT ELEVATED-TEMPERATURES

被引:74
作者
PHILIPPS, V
FLASKAMP, K
VIETZKE, E
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3115(82)90305-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:781 / 784
页数:4
相关论文
共 9 条