SPATIAL-FREQUENCY DOUBLING LITHOGRAPHY (SFDL) OF PERIODIC STRUCTURES FOR INTEGRATED OPTICAL CIRCUIT TECHNOLOGY

被引：5

作者：

JEWELL, TE

WHITE, DL

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/50.50718

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1386 / 1393

页数：8

共 7 条

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