PASSIVATION PROPERTIES OF PLASMA CVD AIN FILMS FOR GAAS

被引：7

作者：

HASEGAWA, F

TAKAHASHI, T

KUBO, K

OHNARI, S

NANNICHI, Y

ARAI, T

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L1448

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L1448 / L1450

页数：3