OBSERVATION OF INITIAL-STAGE OF AL EPITAXIAL-GROWTH ON SI(111) BY IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION

被引:18
作者
INOKAWA, H
YAMADA, I
TAKAGI, T
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1985年 / 24卷 / 03期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.24.L173
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L173 / L174
页数:2
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共 2 条
  • [1] LEWIS B, 1978, NUCLEATION GROWTH TH, P31
  • [2] YAMADA I, 1984, J APPL PHYS, V55, P2746