PASSIVATION OF HIGH BREAKDOWN VOLTAGE P-N-P STRUCTURES BY THERMAL OXIDATION

被引：4

作者：

BLAHA, RE ^{[1
]}

FAHRNER, WR ^{[1
]}

机构：

[1] FRAUNHOFER GESELL,INST ANGEW FESTKORPER PHYS,D-7800 FREIBURG,BUNDES REPUBLIK

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2132867

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页数：4