HAZARD POTENTIAL OF DICHLOROSILANE

被引：11

作者：

SHARP, KG ^{[1
]}

ARVIDSON, A ^{[1
]}

ELVEY, TC ^{[1
]}

机构：

[1] HEMLOCK SEMICOND CORP, HEMLOCK, MI 48626 USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2123509

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2346 / 2349

页数：4

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共 6 条

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