EPITAXIAL LATERAL OVERGROWTH OF GAAS ON A SI SUBSTRATE

被引:117
作者
UJIIE, Y
NISHINAGA, T
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1989年 / 28卷 / 03期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.28.L337
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:L337 / L339
页数:3
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共 12 条
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