DISORDERING OF SURFACE REGIONS IN SI-IMPLANTED SUPERLATTICES OF GAAS/ALGAAS

被引:5
作者
MATSUI, K
KOBAYASHI, J
FUKUNAGA, T
ISHIDA, K
NAKASHIMA, H
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 07期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.26.L1122
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:L1122 / L1124
页数:3
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