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DIFFUSION PUMPED ULTRAHIGH-VACUUM SYSTEMS - IMPORTANT CONSIDERATIONS
被引：6
作者：
DUBOIS, LH
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1988年
/
6卷
/
01期
关键词：
D O I：
10.1116/1.575002
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ;
080502 ;
摘要：
引用
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页码：162 / 163
页数：2
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