NEW APPLICATION OF SE-GE GLASSES TO SILICON MICROFABRICATION TECHNOLOGY

被引：67

作者：

NAGAI, H ^{[1
]}

YOSHIKAWA, A ^{[1
]}

TOYOSHIMA, Y ^{[1
]}

OCHI, O ^{[1
]}

MIZUSHIMA, Y ^{[1
]}

机构：

[1] NIPPON TELEGRAPH & TEL PUBL CORP,MUSASHINO ELECT COMMUN LAB,MUSASHINO,TOKYO,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.88669

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：145 / 147

页数：3

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共 5 条

IGO, T ;

NOGUCHI, Y ;

NAGAI, H .

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OE K, TO BE PUBLISHED

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