VERY PRECISE THICKNESS MEASUREMENT OF THIN FILMS

被引：5

作者：

DYSON, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1038/1971193a0

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

页码：1193 / &

共 5 条

BILLINGS, BH .

[2] THE MEASUREMENT OF THIN FILMS BY INTERFEROMETRY [J].

DYSON, J .

PHYSICA, 1958, 24 (06) :532-537

[3]

TAKASAKI H, 1961, J OPT SOC AM, V51, P463, DOI 10.1364/JOSA.51.000463

[4]

TAKASAKI H, 1961, J OPT SOC AM, V51, P1146, DOI 10.1364/JOSA.51.001146

TAKASAKI, H .