THE MECHANISM OF GAAS ETCHING IN CRO3-HF SOLUTIONS .2. MODEL AND DISCUSSION

被引:28
作者
KELLY, JJ [1 ]
VANDEVEN, J [1 ]
VANDENMEERAKKER, JEAM [1 ]
机构
[1] CATHOLIC UNIV NIJMEGEN,MAT RES INST,DEPT SOLID STATE 3,6525 ED NIJMEGEN,NETHERLANDS
关键词
D O I
10.1149/1.2113716
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:3026 / 3033
页数:8
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