PRECISION POLISHING OF THIN SINGLE CRYSTAL LAYERS

被引：7

作者：

WILSON, RB

机构：

来源：

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1967年 / 44卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1088/0950-7671/44/2/408

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

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