PARTICULATES IN SILICON MOLECULAR-BEAM EPITAXY

被引：2

作者：

BELLAVANCE, D

LIU, J

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583783

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

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页数：1

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共 1 条

[1] AN ANALYSIS OF PARTICLE ADHESION ON SEMICONDUCTOR SURFACES [J].

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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1985, 132 (09) :2208-2214