COMPUTER-CONTROLLED ELECTRON-BEAM MICROFABRICATION MACHINE WITH A NEW REGISTRATION SYSTEM

被引：11

作者：

SAITOU, N ^{[1
]}

MUNAKATA, C ^{[1
]}

MIURA, Y ^{[1
]}

HONDA, Y ^{[1
]}

机构：

[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,KOKUBUNJI 185,TOKYO,JAPAN

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1974年 / 7卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/7/6/014

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：441 / 444

页数：4

共 9 条

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