共 4 条
- [1] HOLLAND L, 1961, VACUUM DEPOSITION TH, P143
- [2] LINS SJ, 1960, 7 VAC S T, P333
- [3] MORRISON RD, REV SCI INSTRUM, V34, P106
- [4] OLMEN RW, 1963, P INTERMAG, P12
VACUUM - AUTOMATED EXPERIMENTAL VACUUM DEPOSITION SYSTEM
被引：6
作者：
TANDESKI, DA
HANSON, MM
OBERG, PE
机构：
来源：
关键词：
D O I：
10.1016/0042-207X(64)90779-1
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
收藏
页码：3 / &
相关论文