HUMIDITY-SENSING AND GAS-SENSING PROPERTIES WITH AN FE2O3 FILM SPUTTERED ON A POROUS AL2O3 FILM

被引：26

作者：

FUKAZAWA, M

MATUZAKI, H

HARA, K

机构：

[1] Department of Electrical Engineering, School of Engineering, Tokyo Denki University, Chiyodaku, Tokyo, 101

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0925-4005(93)85074-K

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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