AUTOMATIC FLATNESS TESTER FOR VERY LARGE-SCALE INTEGRATED-CIRCUIT WAFERS

被引：13

作者：

YATAGAI, T

INABA, S

NAKANO, H

SUZUKI, M

机构：

[1] FUJI PHOTO-OPT CO LTD, SAITAMA 330, JAPAN

[2] SG INSTRUMENT LTD, TOKYO 101, JAPAN

来源：

OPTICAL ENGINEERING | 1984年 / 23卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1117/12.7973308

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页码：401 / 405

页数：5

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共 5 条

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YATAGAI, T ;

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OPTICAL ENGINEERING, 1982, 21 (05) :901-906