SURFACE CHARACTERISTICS OF THIN-FILMS PREPARED BY PLASMA AND ELECTROCHEMICAL POLYMERIZATIONS

被引:45
作者
HERNANDEZ, R [1 ]
DIAZ, AF [1 ]
WALTMAN, R [1 ]
BARGON, J [1 ]
机构
[1] IBM CORP,ADV TECHNOL,SAN JOSE,CA 95193
关键词
D O I
10.1021/j150659a039
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
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页数:5
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