CRYSTALLIZATION AND STRUCTURE OF BETA-NB2N AND GAMMA-TA2N HETEROEPITAXIAL FILMS

被引：12

作者：

DEMYASHEV, GM

TREGULOV, VR

CHUZHKO, RK

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(83)90438-4

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：135 / 144

页数：10

共 42 条

[1] BARABOSHKIN AN, 1976, ELEKTROKRISTALLIZATS, P234
[2] BOLLMANN W, 1970, CRYSTAL DEFECTS CRYS, P146
[3] BOYKO GP, 1970, PISMA ZHETPH, V12, P101
[4] TAU-TAN, A HIGH-PRESSURE FORM OF TANTALUM NITRIDE
BRAUER, G
SKOKAN, A
NEUHAUS, A
MOHR, E
[J]. MONATSHEFTE FUR CHEMIE, 1972, 103 (03): : 794 - &
[5] DRUCKSYNTHESE VON NIOBNITRIDEN UND KONSTITUTION VON DELTA-NBN
BRAUER, G
KIRNER, H
[J]. ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE UND ALLGEMEINE CHEMIE, 1964, 328 (1-2): : 34 - 43
[6] DIE NITRIDE DES TANTALS
BRAUER, G
ZAPP, KH
[J]. ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE UND ALLGEMEINE CHEMIE, 1954, 277 (3-4): : 129 - 139
[7] DIE NITRIDE DES NIOBS
BRAUER, G
JANDER, J
[J]. ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE UND ALLGEMEINE CHEMIE, 1952, 270 (1-4): : 160 - 178
[8] BRAUER G, 1951, Z ANORG ALLGEM CHEM, V309, P151
[9] CURIEN H, 1960, CURSILLOS C I LUCAS, V7, P9
[10] EFFECTS OF NITROGEN METHANE + OXYGEN ON STRUCTURE + ELECTRICAL PROPERTIES OF THIN TANTALUM FILMS
GERSTENBERG, D
CALBICK, CJ
[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1964, 35 (02) : 402 - &