DEPOSITION OF DIAMOND-LIKE CARBON-FILMS BY PULSED-LASER EVAPORATION

被引：75

作者：

SATO, T

FURUNO, S

IGUCHI, S

HANABUSA, M

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L1487

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L1487 / L1488

页数：2