KINETICS OF DEPOSITION OF PYROLYTIC CARBON FILMS FROM METHANE AND CARBON SUBOXIDE

被引:47
作者
HIRT, TJ
PALMER, HB
机构
关键词
D O I
10.1016/0008-6223(63)90011-3
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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