DETERMINATION OF NITROGEN IN SILICON BY SOLID SOURCE MASS SPECTROMETRY

被引：7

作者：

KENNICOTT, PR

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1964年 / 111卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2426327

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：1101 / 1102

页数：2

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共 1 条

[1] NITROGEN IN SILICON [J].

KAISER, W ;

THURMOND, CD .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1959, 30 (03) :427-431